E-TS-7155-P6超高精度测量头ACCRETECH东京精密

ACCRETECH东京精密E-TS-7155-P6超高精度测量头

超高精度測定ヘッド

インラインで0.1μm の高精度 繰返し精度0.1μm（25 回）を実現。 温度変化に強い 温度環境が10℃変化したとき測定値の変化は0.5μm以下を実現。 長時間のアイドリング不要 電源投入後10分で測定値の変化は0.1μm以下を実現。 ■ 特

パルコム スーパーΣシリーズ 超高精度測定ヘッド ●測定ヘッドの選定

測定項目 ワーク形状 リトラクト有無 リトラクト方式 出力数 測定ヘッド型式（＊1） 円筒外径 円筒外径・外幅 内径測定 リトラクト無 リトラクト付 リトラクト付 － エア式 エア式 2出力 2出力 2出力 E-TS-715[x]-P[z] E-TS-716[x]-P[z] E-TS-718[x]-[y][z] 連続面 連続面 連続面

型式 主な用途 型式 測定範囲 ストローク フロントトラベル 繰り返し精度 測定力 リトラクト用空気源 ヘッド質量 防水規格 垂直面内 水平面内 （）内ポスト フィンガ長 フィンガ長 フィンガ長 フィンガ長 ℓ=42mm ℓ=82mm ℓ=42mm ℓ=82mm ℓ=42の時 ℓ=82の時 ℓ=42の時 ℓ=82の時 ●外径・外幅用 ※ℓ：フィンガ長、垂直面内：垂直面内基準の取り付け、水平面内：水平面内基準の取り付け（横置）、ポスト：ポストプロセス測定時 スーパー Σ 円筒外径 E-TS-7151 E-TS-7152 E-TS-7155 E-TS-7156 φ8～φ65mm 0.1μm ー スーパー Σ-OD-AR 円筒外径・外幅 E-TS-7161 E-TS-7162 E-TS-7165 E-TS-7166 φ8～φ65（φ1～φ65）mm 0.2μm 0.3～0.5MPa 約1.3kg IP67準拠 スーパー Σ-ID-AR 円筒内径・内幅 E-TS-7181 E-TS-7182 E-TS-7185 E-TS-7186 φ3～φ65mm 1.5mm（片側） 2.4mm（片側） 0.12～0.15mm 0.19～0.24mm 0.2μm 0.75±0.15N 0.3～0.5MPa 1.5mm（片側） 2.4mm（片側） 0.12～0.15mm 0.19～0.24mm 0.75±0.15N

商品コード 0948001 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7151-P3） 0948002 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7151-P6） 0948003 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7152-P3） 0948004 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7152-P6） 0948006 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7155-P3） 0948007 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7155-P6） 0948005 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7156-P3） 0948010 パルコムスーパーȊ-OD（E-TS-7156-P6） 0948011 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7161-P3） 0948012 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7161-P6） 0948013 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7162-P3） 0948014 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7162-P6） 0948015 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7165-P3） 0948016 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7165-P6） 0948017 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7166-P3） 0948018 パルコムスーパーȊ-OD-R（E-TS7166-P6）

商品コード 0948021 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7181-P3） 0948022 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7181-P6） 0948023 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7182-P3） 0948024 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7182-P6） 0948025 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7185-P3） 0948026 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7185-P6） 0948027 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7186-P3） 0948028 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7186-P6） 0948030 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7182-N3） 0948031 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7182-N6） 0948032 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7186-N3） 0948033 パルコムスーパーȊ-ID-R（E-TS-7186-N6）

0.001mm 阶差量块套装

* 量块的整体尺寸参见 E-3 页，量块的精度标准参见E-5 页。

每套

数量

货号可选用标准／等级和后缀号* 包含量块

钢制陶瓷ISO/DIN/JIS ASME BS 尺寸阶差数量

18 516-973

516-974

516-975

516-976

516-373

516-374

516-375

516-376

K: -n0

0: -n0

1: -n0

2: -n0

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0.991 - 0.999

1.001 - 1.009

0.001

0.001

99

9 516-981

516-982

516-983

516-984

516-381

516-382

516-383

516-384

K: -n0

0: -n0

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K: -n1

0: -n1

1: -n1

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1.001 - 1.009 0.001 9

9 516-985

516-986

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516-988

516-385

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K: -n0

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0.991 - 0.999 0.001 9

516-540

516-701

516-702

516-703

516-704

516-546

516-731

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516-733

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K: -n0

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K: -n6

00: -n6

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516-807

516-806

516-832

516-833

0: -n0

1: -n0

0:-n6

1:-n6

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1 2

2 516-803

516-802

516-830

516-831