日本PILLAR皮拉PC-20MBT-P2525渣浆泵

特性和规格

• 模型

• PC系列

• 类型

• 用于 CMP 工艺浆料

• 产品信息

• 所有与液体接触的部件均由氟树脂制成，使泵具有高度的耐化学性、耐热性和清洁性。
  该产品专为 CMP 工艺浆料应用而设计。

• 主要组件

• 接触液体的部件：PFA、PTFE

• 主要应用

• 化学供给设备、清洗设备、使用浆料液体的CMP设备的循环管路

• 规格和规格信息

• 液体温度：10～100℃
  最大吐出量：12、24、48L/min
  供给空气压力：0.2～0.5MPaG
  
  ※使用前请务必阅读使用说明书。

• 类别

• 氟树脂产品/波纹管泵

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