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VMU视频显微镜单元
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日本Mitutoyo三丰VMU-S 378-404白光干涉显微镜单元

日本Mitutoyo三丰VMU-S 378-404白光干涉显微镜单元

品牌:Mitutoyo三丰

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日本Mitutoyo三丰VMU-S 378-404白光干涉显微镜单元

使用M Plan Apo 1×时,有些观察对象可能会出现耀斑,因此建议搭配使用偏振光单元(No.378-710或378-715) 


VMU-S (订货号: 378-404) 是日本三丰(Mitutoyo)推出的一款用于自动化设备与集成系统的小型轻量化视频显微镜单元


核心规格与参数

参数项目规格明细
产品型号 / 货号VMU-S / 378-404
成像管镜焦距 ($f$)200 mm
成像倍率1X
适用光谱波段可见光范围(Visible Spectrum)
相机接口C-Mount
物镜接口M26 × 0.706 螺纹(适配 M Plan Apo 系列长工作距离物镜)
照明方式内置垂直落射照明光路(Direct Coaxial / Telecentric Illumination)
结构特点直筒型单物镜接口、结构紧凑、便于机械手或自动化平台安装

应用与搭配说明

  • 物镜兼容: 需搭配三丰 M Plan ApoM Plan Apo SL 等无穷远校正长工作距离物镜使用。

  • 光源连接: 侧面光学引入口用于接入光纤冷光源(如卤素灯或 LED 光源),实现工件表面的同轴落射照明。

  • 典型场景: 半导体晶圆检测、工业 PCB 点胶/对位定位、精细测量设备整合及自动化视觉系统开发





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