542-716DC LGH-1010C-B-EH光栅测微仪Mitutoyo三丰

542系列 — 高精度光栅式测微仪

LGH (0.01μm分辨力、0.005μm分辨力)

● 在10mm的宽范围内实现了与激光干涉仪相

同的0.005μm或0.01μm的高分辨力和高精度。

● 紧凑型的机身使得装置本身小型化，不仅

可以作为高精度零部件的测量以及高精度

定位· 控制装置长度测量的传感器，还适

用于作为各种测量机的标准规。

● 新型号采用光电式反射型线性编

码器，在低价格下实现了0.01μm

高分辨率，示值误差0.2μm，测

量范围10mm的宽范围。

● 响应速度与以往产品相比提高了

2.8倍(250mm/s⇒700mm/s)，兼顾

了高精度。

● 装配新开发的超高精度透射型线

性编码器，实现0.005μm(5nm)的

高分辨力。

● 在测量范围10mm的宽范围内实

现了示值误差0.1μm。适用于标

准规的校正·赋值，以及用于测

量机的基准器。

● 也具有低测力规格产品：根据用途可以选

择低测力规格，可以测量易变形工件和高

性能胶片等。

● LGH系列是与专用计数器的组合规格。

分辨力0.01μm、示值误差0.2μm型

货号542-715DC (标准型) 542-716DC (低测力型)

型号LGH-1010-B-EH LGH-1010C-B-EH

测量范围10mm

分辨力0.01μm (0.05μm, 0.1μm, 0.5μm, 1μm用计数器可切换)

示值误差(20ºC)*1 0.2μm

重复性(20ºC)*1 0.1μm (2σ)

回程误差(20ºC)*1 0.1μm

测力

测杆朝下0.65N以下约0.12N

测杆水平0.55N以下不可使用

测杆朝上0.45N以下不可使用

位置检出方式光电反射型线性编码器

响应速度通常测量时：700mm/sec　峰值检测时：120mm/sec

测微头质量约370g

测头硬质合金Sø3mm (M2.5 (P=0.45) × 5mm) 标准测头No.901312

装夹套筒直径ø15mm

轴承类型线性滚珠轴承

输出电缆长度约2m

使用温度(湿度)范围0ºC - 40ºC (基准温度20ºC) / 20 - 80% RH (无凝结)

储存温度(湿度)范围−10ºC - 60ºC / 20 - 80% RH (无凝结)