TECLOCK测厚规G2-205
TECHTRY液位传感器LUP-P-B-2M-PNPMitutoyo三丰显微镜单元
Mitutoyo三丰物镜 紫外、近紫外、可视、近红外
Mitutoyo三丰显微镜单元
日本三丰物镜(紫外、近紫外、可视、近红外)
用于半导体、电子、液晶相关等产品的生产
品质管理系统、实验研究装置使用的光学系统
外观检查系统的嵌入式光学单元
微生物等运动物体的观察 等
可安装数码相机,通过外部显示器进行观察和拍摄。
可实现横向水平、上下颠倒等高自由度的固定方法。
与简易支架一起使用,还可作为紧凑型显微镜使用。
★金属、树脂、印刷面等表面观察拍摄
★微量流体分析用光学系统
★以观察和分析细胞、微生物等为目的的光学系统
M Plan Apo NIR系列等支持红外区的物镜组合,可在红外线下实
现可见光下做不到的非破坏性检查。
★液晶薄膜、硅基板等的厚度测量
★MEMS内部的非破坏评价、三维安装评价
★半导体封装(IC)的内部观察、晶圆键合空洞评价传感器
★红外分光特性分析
通过VMU-LB和固定倍率观察用相机卡口的
组合,能够对同一位置以不同倍率同时观
察。
(低倍率侧:2/3型、高倍率侧:1/2型等)
通过与YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物镜组合,可实现高精度、高
品质加工。
与简易支架一起使用,还可作为紧凑型显微镜使用。
★保护膜、有机薄膜等的剥离
★金、铝等金属配线切割、下层图案的外露
★FPD的各种缺陷修正
★光掩模修正
★标记、修剪、图像形成、局部退火、划线
凭借长动作距离设计的物镜,实现优异的操作性。
最适合与定位器、探针台等组合。
通过与激光加工装置组合,还可支持不良分析→部分修正无缝衔接的系统。
此外,还提供支持隔着玻璃的、真空内的外观检查的系统
视频显微镜单元
VMU
大视场视频显微镜单元
WIDE VMU
精密显微镜单元
FS75
明视场用物镜
(长工作距离
)
M Plan Apo/M Plan Apo HR
明视场用物镜
(超长工作距离
)
M Plan Apo SL
明视场用物镜
(玻璃厚度校正)
G Plan Apo
明暗视场物镜
(长工作距离)
BD Plan Apo/BD Plan Apo HR
明暗视场物镜
(超长工作距离
)
BD Plan Apo SL
(近红外区