FS70ZD精密显微镜单元Mitutoyo三丰

精密显微镜单元

FS70

带目镜观察部的小巧显微镜单元

适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。

·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工※　 ※不保证激光系统产品的性能和安全性。

半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。

并适合作为半导体故障分析用探针台的光学观察部分。

·适用于红外光学系统※

硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。※另需红外光源和红外摄像机等。

·推出了适用于明视场、暗视场、简易偏光、微分干涉观察的机型

·反射照明光学系统标配带孔径光阑科勒照明

·通过采用内部转塔和长工作距离物镜，确保了在显微镜下的高操作性

规格

标准目镜规格

型号FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4

货号378-165-1 － 请咨询378-166-1 378-167-1

可变角度

目镜规格

型号－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH

货号－ 378-165-3 请咨询378-166-3 378-167-3

观察成像明视场、简易偏光、微分干涉 /正像明视场、简易偏光/正像

目镜(必选件) 10×(视场数24)、15×(视场数16)、20×(视场数12)

镜筒

三目镜筒

视场数24

可调瞳距西登托夫型，调节范围：51～76mm

俯角0～20°(仅限-TH)，眼点移动量约114mm

光路

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：

0%/100%)

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：0%/100%)

相机接口

卡口部

C-Mount(使用适配器B※1)

使用适配器B进行齐焦调节

C-Mount规格

(齐焦调节机构)

C-Mount规格

(带绿色滤光片切换功能) (齐

焦调节机构)

防护滤光片－ 内置激光滤光片

成像(镜筒)透镜内置1～2×(可见校正)变焦

内置1×(近红外～可见～近紫

外校正) 内置1×(可见、紫外校正)

激光接口

光学系统

－

倍率：1× 波长：

355/532/1064nm 倍率：1× 波长：266/532nm

卡口部分YAG激光振荡器

可配备(基波、2次/3次谐波)

YAG激光振荡器

可配备(2次、4次谐波)

聚焦

部分

粗调单轴粗微调(粗调：3.8mm/圈，微调：0.1mm/圈)

移动量50mm、左右手柄

反射照明光学系统明视场落射照明(科勒照明、带孔径光阑)

照明装置(选件) 12V100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V150W光纤照明装置(No.176-316DC)均为无级旋钮调光式，

光导长度=1500mm

转塔(必选件) 调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

手动转塔4孔

/电动转塔4孔

调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

物镜

(必选件)

观察用

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

BD Plan Apo

BD Plan Apo HR

BD Plan Apo SL

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

激光

加工用

－

M/LCD Plan Apo NIR

M/LCD Plan Apo NUV

※根据激光振荡器的使用波长选择

M Plan UV

镜筒部最大承重※2 约14kg(-TH：约13.2kg) 约13.9kg(-TH：约13.1kg)

MITUTOYO数据盒 USB264-016-10

MITUTOYO264-155

MITUTOYO数据处理器（原货号264-145-00）264-155-00

MITUTOYO264-155D

MITUTOYO264-156D

MITUTOYO数显微处理器264-504

MITUTOYO264-504-5A

MITUTOYO数显微处理器264-504-5D

MITUTOYO数显微处理器264-504-5DC

MITUTOYO数显微处理器264-504-5E

MITUTOYO信号发射器264-620

MITUTOYO信号发射器264-623

MITUTOYO配件270772A

MITUTOYO配件270772B

MITUTOYO"英制指针式千分表  1""（长行程型）"2776S

MITUTOYO"英制指针式千分表  .025""（标准型、英制读数）"2802S-10

MITUTOYO"英制千分表  .05""   防震型宝石轴承型"2804S-10

MITUTOYO2804SB-10

MITUTOYO指针式千分表2805S-10

MITUTOYO千分表  0.1MM2900S-10

MITUTOYO千分表  0.1MM2900S-72

MITUTOYO2900S-73

MITUTOYO千分表0.1MM2900SB-10

MITUTOYO千分表  0.1MM2900SB-72

MITUTOYO2900SB-73

MITUTOYO千分表  0.1MM2901S-10

MITUTOYO千分表  0.1MM2901SB-10

MITUTOYO百分表  10MM2902S

MITUTOYO2902S-01

MITUTOYO百分表  10MM  返回读数型2902SB

MITUTOYO2902SB-01

MITUTOYO2909S-62

MITUTOYO2909SB-62

MITUTOYO"英制指针式千分表  .008""（标准单转型）"2910S-10

MITUTOYO2910SB-10

MITUTOYO2915S-10

MITUTOYO2915SB-10

MITUTOYO"英制千分表  .05"""2923S-10

MITUTOYO"英制指针式千分表  .05""（标准型、英制读数）"2923SB-10

MITUTOYO千分表  4MM2928S

MITUTOYO百分表  1MM2929S

MITUTOYO百分表  1MM2929S-60

MITUTOYO百分表  1MM2929S-62

MITUTOYO百分表  1MM2929SB

MITUTOYO百分表  0.8MM  防震防水型2929SB-60

MITUTOYO百分表  1MM2929SB-62

MITUTOYO293-100

MITUTOYO万分尺293-100-10

MITUTOYO高精度千分尺293-130

MITUTOYO快进型外径千分尺293-140

MITUTOYO数显千分尺293-140-30

MITUTOYO快进型千分尺25-50MM293-141

MITUTOYO数显千分尺293-141-30

MITUTOYO千分尺293-142

MITUTOYO数显千分尺293-142-30

MITUTOYO千分尺293-143

MITUTOYO数显千分尺293-143-30

MITUTOYO快进型千分尺（新品）293-145

MITUTOYO快进型千分尺25-50MM不带SPC数据输出293-146

MITUTOYO数显千分尺293-146-30

MITUTOYO公制快进型千分尺50-75MM293-147

MITUTOYO数显千分尺293-147-30

MITUTOYO公制快进型千分尺75-100MM293-148

MITUTOYO快进型外径千分尺293-180

MITUTOYO公英制快进型千分尺 25-50MM（1-2“）293-181

MITUTOYO"公英制快进型千分尺0-25MM(0-1"")不带SPC数据输出"293-185

MITUTOYO"公英制快进型千分尺25-50MM(1-2"")不带SPC数据输出"293-186

MITUTOYO"公英制快进型千分尺50-75MM(2-3"")不带SPC数据输出"293-187

MITUTOYO293-188

MITUTOYO千分尺293-230-30

MITUTOYO数显千分尺  25-50MM293-231-30

MITUTOYO数显千分尺  50-75MM293-232-30

MITUTOYO数显千分尺  75-100MM293-233-30

MITUTOYO293-235-30

MITUTOYO293-236-30

MITUTOYO293-237-30

MITUTOYO千分尺293-240

MITUTOYO数显外径千分尺293-240-30

MITUTOYO千分尺293-241

MITUTOYO数显千分尺  25-50MM293-241-30

MITUTOYO数显千分尺  50-75MM293-242-30

MITUTOYO数显千分尺  75-100MM293-243-30

MITUTOYO数显千分尺  0-25MM293-244-30

MITUTOYO防冷却液千分尺25-50MM293-245-30

MITUTOYO防冷却液千分尺75-100MM293-247-30

MITUTOYO千分尺293-250-30

MITUTOYO外径千分尺293-250-30（100-120MM）

MITUTOYO千分尺293-251-30

MITUTOYO数显千分尺  150-175MM293-252-10

MITUTOYO293-252-30

MITUTOYO外径千分尺293-252-30（150-175MM）

MITUTOYO数显千分尺  175-200MM293-253-10

MITUTOYO293-253-30

MITUTOYO数显千分尺  200-225MM293-254-10

MITUTOYO293-254-30

MITUTOYO数显千分尺  225-250MM293-255-10

MITUTOYO293-255-30

MITUTOYO数显千分尺  250-275MM293-256-10

MITUTOYO293-256-30

MITUTOYO293-257-30

MITUTOYO公英制数显千分尺  0-1^293-330-30

MITUTOYO"公英制数显千分尺  1""-2"""293-331-30

MITUTOYO千分尺293-332-30

MITUTOYO千分尺293-333-30

MITUTOYO千分尺293-334-30

MITUTOYO千分尺293-335

MITUTOYO数显千分尺293-335-30

MITUTOYO千分尺293-336

MITUTOYO数显千分尺293-336-30

MITUTOYO公英制数显千分尺  3^-4^293-343-30

MITUTOYO千分尺293-344-30

MITUTOYO千分尺293-345-30

MITUTOYO数显千分尺293-346-30

MITUTOYO千分尺293-347-30

MITUTOYO数显千分尺293-349-30

MITUTOYO数显千分尺293-350-30

MITUTOYO数显千分尺293-351-30

MITUTOYO数显千分尺293-352-30

MITUTOYO数显千分尺293-353-30

MITUTOYO公英制数显千分尺  8^-9^293-354-10

MITUTOYO数显千分尺293-354-30

MITUTOYO公英制数显千分尺  9^-10^293-355-10

MITUTOYO千分尺293-355-30

MITUTOYO公英制数显千分尺  10^-11^293-356-10

MITUTOYO千分尺293-356-30

MITUTOYO公英制数显千分尺  11^-12^293-357-10

MITUTOYO千分尺293-357-30

MITUTOYO数显千分尺  300-325MM293-582

MITUTOYO数显千分尺  325-350MM293-583

MITUTOYO数显千分尺  350-375MM293-584

MITUTOYO数显千分尺  375-400MM293-585

MITUTOYO数显千分尺  400-425MM293-586

MITUTOYO数显千分尺  425-450MM293-587

MITUTOYO293-588

MITUTOYO数显千分尺  475-500MM293-589

MITUTOYO数显千分尺  0-30MM（防水防油）293-661-10

MITUTOYO293-666

MITUTOYO数显千分尺  25-55MM（防水防油）293-667

MITUTOYO数显千分尺  50-80MM（防水防油）293-668

MITUTOYO数显千分尺  75-105MM（防水防油）293-669

MITUTOYO公英制数显千分尺  0-1.2^（防水防油）293-676

MITUTOYO公英制数显千分尺  1^-2.2^（防水防油）293-677

MITUTOYO公英制数显千分尺  2^-3.2^（防水防油）293-678

MITUTOYO公英制数显千分尺  3^-4.2^（防水防油）293-679

MITUTOYO"公英制数显千分尺  12""-13"""293-782

MITUTOYO293-783

MITUTOYO293-784