Mitutoyo三丰M Plan UV 20× 378-837-8紫外物镜

明场紫外线校正物镜 M Plan UV

明视场用紫外区校正　物镜

M Plan UV

·无限远校正

·明视场观察及激光加工用

·长工作距离

·平场规格

· 对紫外区(波长266nm)和可见区(常用观察波长区)进行

了校正设计。

重点保证了紫外区的高透射率。

M Plan UV

M Plan UV 10× 378-844-15 0.25 20.0 20 20.3 1.1 4.4 2.4 0.48×0.64 310

M Plan UV 20× 378-837-8 0.37 15.0 10 10.4 0.7 2.1 1.2 0.24×0.32 370

M Plan UV 50× 378-838-8 0.41 12.0 4 4.2 0.7 1.6 0.48 0.10×0.13 400

M Plan UV 80× 378-839-5 0.55 10.0 2.5 2.9 0.5 0.9 0.3 0.06×0.08 380

● 结合使用显微镜和YAG激光，在试料上投影掩模图像时，掩模图像会缩小到f/200(本公司镜筒透镜，焦距f＝200mm)倍投影，由于f550＞f266，因此紫外光(波长266nm)的加工面积略小于可

见光(波长550nm)的掩模图像。

上述规格栏中的分辨力和物镜单体焦深是根据基准波长(λ＝0.55μm)计算得出的值。

确保紫外线的高透过率

主要特点

无限校正

用于明场观察和激光加工

工作距离长

计划规格

它设计用于在紫外范围（波长 266 nm）和可见范围（一般观察波长范围）内进行校正。特别是在紫外线区域确保了高透射率

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