Mitutoyo三丰精密显微镜单元FS70Z-TH 378-165-3

精密显微镜单元

FS70

·带目镜观察部的小巧显微镜单元

适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。

·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工※　 ※不保证激光系统产品的性能和安全性。

半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。

并适合作为半导体故障分析用探针台的光学观察部分。

·适用于红外光学系统※

硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。※另需红外光源和红外摄像机等。

·推出了适用于明视场、暗视场、简易偏光、微分干涉观察的机型

·反射照明光学系统标配带孔径光阑科勒照明

·通过采用内部转塔和长工作距离物镜，确保了在显微镜下的高操作性

标准目镜规格

型号FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4

货号378-165-1 － 请咨询378-166-1 378-167-1

可变角度

目镜规格

型号－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH

货号－ 378-165-3 请咨询378-166-3 378-167-3

观察成像明视场、简易偏光、微分干涉 /正像明视场、简易偏光/正像

目镜(必选件) 10×(视场数24)、15×(视场数16)、20×(视场数12)

镜筒

三目镜筒

视场数24

可调瞳距西登托夫型，调节范围：51～76mm

俯角0～20°(仅限-TH)，眼点移动量约114mm

光路

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：

0%/100%)

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：0%/100%)

相机接口

卡口部

C-Mount(使用适配器B※1)

使用适配器B进行齐焦调节

C-Mount规格

(齐焦调节机构)

C-Mount规格

(带绿色滤光片切换功能) (齐

焦调节机构)

防护滤光片－ 内置激光滤光片

成像(镜筒)透镜内置1～2×(可见校正)变焦

内置1×(近红外～可见～近紫

外校正) 内置1×(可见、紫外校正)

激光接口

光学系统

－

倍率：1× 波长：

355/532/1064nm 倍率：1× 波长：266/532nm

卡口部分YAG激光振荡器

可配备(基波、2次/3次谐波)

YAG激光振荡器

可配备(2次、4次谐波)

聚焦

部分

粗调单轴粗微调(粗调：3.8mm/圈，微调：0.1mm/圈)

移动量50mm、左右手柄

反射照明光学系统明视场落射照明(科勒照明、带孔径光阑)

照明装置(选件) 12V100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V150W光纤照明装置(No.176-316DC)均为无级旋钮调光式，

光导长度=1500mm

转塔(必选件) 调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

手动转塔4孔

/电动转塔4孔

调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

物镜

(必选件)

观察用

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

BD Plan Apo

BD Plan Apo HR

BD Plan Apo SL

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

激光

加工用

－

M/LCD Plan Apo NIR

M/LCD Plan Apo NUV

※根据激光振荡器的使用波长选择

M Plan UV

镜筒部最大承重※2 约14kg(-TH：约13.2kg) 约13.9kg(-TH：约13.1kg)

外观尺寸参照P.27

主体重量6.6kg(-TH：7.4kg) 6.7kg(-TH：7.5kg)

※1：选装。※2：不包括转塔、物镜、目镜的重量。

注)使用物镜M Plan Apo 1×时，建议搭配使用偏光装置(No.378-092或378-094)。

注)在FS70L、FS70L4上安装YAG激光振荡器使用时，

　 ·请注意激光输入值和能量密度等。否则可能会导致光学系统受损。

　 ·请确认激光振荡器的重量。在高速、高加减速装置上安装时请进行咨询

标准目镜规格

型号FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4

货号378-165-1 － 请咨询378-166-1 378-167-1

可变角度

目镜规格

型号－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH

货号－ 378-165-3 请咨询378-166-3 378-167-3

观察成像明视场、简易偏光、微分干涉 /正像明视场、简易偏光/正像

目镜(必选件) 10×(视场数24)、15×(视场数16)、20×(视场数12)

镜筒

三目镜筒

视场数24

可调瞳距西登托夫型，调节范围：51～76mm

俯角0～20°(仅限-TH)，眼点移动量约114mm

光路

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：

0%/100%)

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：0%/100%)

相机接口

卡口部

C-Mount(使用适配器B※1)

使用适配器B进行齐焦调节

C-Mount规格

(齐焦调节机构)

C-Mount规格

(带绿色滤光片切换功能) (齐

焦调节机构)

防护滤光片－ 内置激光滤光片

成像(镜筒)透镜内置1～2×(可见校正)变焦

内置1×(近红外～可见～近紫

外校正) 内置1×(可见、紫外校正)

激光接口

光学系统

－

倍率：1× 波长：

355/532/1064nm 倍率：1× 波长：266/532nm

卡口部分YAG激光振荡器

可配备(基波、2次/3次谐波)

YAG激光振荡器

可配备(2次、4次谐波)

聚焦

部分

粗调单轴粗微调(粗调：3.8mm/圈，微调：0.1mm/圈)

移动量50mm、左右手柄

反射照明光学系统明视场落射照明(科勒照明、带孔径光阑)

照明装置(选件) 12V100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V150W光纤照明装置(No.176-316DC)均为无级旋钮调光式，

光导长度=1500mm

转塔(必选件) 调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

手动转塔4孔

/电动转塔4孔

调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

物镜

(必选件)

观察用

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

BD Plan Apo

BD Plan Apo HR

BD Plan Apo SL

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

激光

加工用

－

M/LCD Plan Apo NIR

M/LCD Plan Apo NUV

※根据激光振荡器的使用波长选择

M Plan UV

镜筒部最大承重※2 约14kg(-TH：约13.2kg) 约13.9kg(-TH：约13.1kg)

外观尺寸参照P.27

主体重量6.6kg(-TH：7.4kg) 6.7kg(-TH：7.5kg)

※1：选装。※2：不包括转塔、物镜、目镜的重量。

注)使用物镜M Plan Apo 1×时，建议搭配使用偏光装置(No.378-092或378-094)。

注)在FS70L、FS70L4上安装YAG激光振荡器使用时，

　 ·请注意激光输入值和能量密度等。否则可能会导致光学系统受损。

　 ·请确认激光振荡器的重量。在高速、高加减速装置上安装时请进行咨询