FS70Z 378-165-1精密显微镜单元Mitutoyo三丰

精密显微镜单元

FS70

带目镜观察部的小巧显微镜单元

适用于金属表面和半导体、液晶、树脂等各种观察对象。

·适用于使用YAG激光(近红外、可见、近紫外、紫外)的微细加工※　 ※不保证激光系统产品的性能和安全性。

半导体电路的切割、修整、修正、打标、薄膜(绝缘膜)的去除和加工、液晶彩色滤光片等的修复(修正缺陷)等。

并适合作为半导体故障分析用探针台的光学观察部分。

·适用于红外光学系统※

硅类的内部观察、红外光谱特征分析等。※另需红外光源和红外摄像机等。

·推出了适用于明视场、暗视场、简易偏光、微分干涉观察的机型

·反射照明光学系统标配带孔径光阑科勒照明

·通过采用内部转塔和长工作距离物镜，确保了在显微镜下的高操作性

■规格

标准目镜规格

型号FS70Z － FS70ZD FS70L FS70L4

货号378-165-1 － 请咨询378-166-1 378-167-1

可变角度

目镜规格

型号－ FS70Z-TH FS70ZD-TH FS70L-TH FS70L4-TH

货号－ 378-165-3 请咨询378-166-3 378-167-3

观察成像明视场、简易偏光、微分干涉 /正像明视场、简易偏光/正像

目镜(必选件) 10×(视场数24)、15×(视场数16)、20×(视场数12)

镜筒

三目镜筒

视场数24

可调瞳距西登托夫型，调节范围：51～76mm

俯角0～20°(仅限-TH)，眼点移动量约114mm

光路

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：

0%/100%)

固定式

(目镜/TV＝50%/50%)

切换式

(目镜/管径＝100%/0%：0%/100%)

相机接口

卡口部

C-Mount(使用适配器B※1)

使用适配器B进行齐焦调节

C-Mount规格

(齐焦调节机构)

C-Mount规格

(带绿色滤光片切换功能) (齐

焦调节机构)

防护滤光片－ 内置激光滤光片

成像(镜筒)透镜内置1～2×(可见校正)变焦

内置1×(近红外～可见～近紫

外校正) 内置1×(可见、紫外校正)

激光接口

光学系统

－

倍率：1× 波长：

355/532/1064nm 倍率：1× 波长：266/532nm

卡口部分YAG激光振荡器

可配备(基波、2次/3次谐波)

YAG激光振荡器

可配备(2次、4次谐波)

聚焦

部分

粗调单轴粗微调(粗调：3.8mm/圈，微调：0.1mm/圈)

移动量50mm、左右手柄

反射照明光学系统明视场落射照明(科勒照明、带孔径光阑)

照明装置(选件) 12V100W光纤照明装置(No.378-700DC)/15V150W光纤照明装置(No.176-316DC)均为无级旋钮调光式，

光导长度=1500mm

转塔(必选件) 调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

手动转塔4孔

/电动转塔4孔

调心齐焦手动转塔4孔

/调心电动转塔5孔

物镜

(必选件)

观察用

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

BD Plan Apo

BD Plan Apo HR

BD Plan Apo SL

M Plan Apo

M Plan Apo HR

M Plan Apo SL

G Plan Apo

激光

加工用

－

M/LCD Plan Apo NIR

M/LCD Plan Apo NUV

※根据激光振荡器的使用波长选择

M Plan UV

镜筒部最大承重※2 约14kg(-TH：约13.2kg) 约13.9kg(-TH：约13.1kg)

外观尺寸参照P.27

主体重量6.6kg(-TH：7.4kg) 6.7kg(-TH：7.5kg)

※1：选装。※2：不包括转塔、物镜、目镜的重量。

注)使用物镜M Plan Apo 1×时，建议搭配使用偏光装置(No.378-092或378-094)。

注)在FS70L、FS70L4上安装YAG激光振荡器使用时，

　 ·请注意激光输入值和能量密度等。否则可能会导致光学系统受损。

　 ·请确认激光振荡器的重量。在高速、高加减速装置上安装时请进行

MITUTOYO英制钢尺  12^(宽硬尺)182-122

MITUTOYO英制钢尺  12^(宽硬尺)182-123

MITUTOYO公英制钢尺  12^(宽硬尺)182-126

MITUTOYO公英制钢尺  18^(宽硬尺)182-145

MITUTOYO钢尺  450MM(宽硬尺)182-151

MITUTOYO182-161

MITUTOYO182-163

MITUTOYO公英制钢尺  24^(宽硬尺)182-165

MITUTOYO钢尺  600MM(宽硬尺)182-171

MITUTOYO英制钢尺  18^(宽硬尺)182-241

MITUTOYO弹性钢尺  450MM(弹性尺)182-251

MITUTOYO英制弹性钢尺  24^(弹性尺)182-262

MITUTOYO英制弹性钢尺  24^(弹性尺)182-263

MITUTOYO半软尺-公英制182-309

MITUTOYO基准尺182-514-10

MITUTOYO标准尺182-523-10

MITUTOYO标准尺182-524-10

MITUTOYO182-524-60

MITUTOYO标准尺  50MM182-525

MITUTOYO标准尺182-525-10

MITUTOYO182-525-60

MITUTOYO标准尺182-531-10

MITUTOYO182-531-60

MITUTOYO标准尺182-532-10

MITUTOYO182-532-60

MITUTOYO标准尺  750MM182-533

MITUTOYO标准尺182-533-10

MITUTOYO182-533-50

MITUTOYO标准尺  1000MM182-534

MITUTOYO标准尺182-534-10

MITUTOYO182-534-50

MITUTOYO袖珍比较仪  8X183-101

MITUTOYO分划板183-102

MITUTOYO分划板183-103

MITUTOYO分划板183-104

MITUTOYO分划板183-105

MITUTOYO分划板183-106

MITUTOYO分划板183-107

MITUTOYO分划板183-108

MITUTOYO分划板183-109

MITUTOYO分划板183-110

MITUTOYO分划板183-111

MITUTOYO分划板183-112

MITUTOYO分划板183-113

MITUTOYO分划板183-114

MITUTOYO分划板183-115

MITUTOYO袖珍比较仪  10X183-131

MITUTOYO袖珍放大镜  25X183-201

MITUTOYO袖珍放大镜  25X183-202

MITUTOYO袖珍放大镜  50X183-203

MITUTOYO放大镜  7X183-301

MITUTOYO放大镜  10X183-302

MITUTOYO放大镜  15X183-303

MITUTOYO变焦放大镜  8X-16X183-304

MITUTOYO袖珍比较仪183-901

MITUTOYO袖珍放大镜，放大镜，便携式比较仪183-902

MITUTOYO袖珍比较仪183-903

MITUTOYO袖珍放大镜，放大镜，便携式比较仪183-904

MITUTOYO塞尺184-301S

MITUTOYO厚薄规   0.05-1MM184-304S

MITUTOYO厚度规184-305S

MITUTOYO厚度规  0.03-0.5MM(13片)184-307S

MITUTOYO厚度规  0.05-0.8MM(10片)184-308S

MITUTOYO厚度规184-313S

MITUTOYO"半径规 英制1/32""-1/4""(15片)"186-101

MITUTOYO"半径规 英制17/64""-1/2""(16片)"186-102

MITUTOYO"半径规 英制1/32""-17/64""(16片)"186-103

MITUTOYO半径规  1-7MM(34对)186-105

MITUTOYO半径规  7.5-15MM(32片)186-106

MITUTOYO半径规  15.5-25MM(30片)186-107

MITUTOYO半径规  0.4-6MM(18对)186-110

MITUTOYO英制半径规  1-64^-1/2^(25片)186-901

MITUTOYO半径规  0.5-13MM(26对)186-902

MITUTOYO186-903

MITUTOYO186-905

MITUTOYO半径规186-906

MITUTOYO半径规186-907

MITUTOYO187-101

MITUTOYOBLADE 12^187-103

MITUTOYO187-104

MITUTOYOACUTE ANGLE ATTA.187-105

MITUTOYO万能角度尺用尺片0-150MM187-106

MITUTOYO斜角尺187-201

MITUTOYO数显万能角度尺  -360°-+360°187-501

MITUTOYO数显万能角度尺  -360°-+360°187-502

MITUTOYO数显万能角度尺  -360°-+360°187-551

MITUTOYO数显万能角度尺  -360°-+360°187-552

MITUTOYO"万能斜角尺150,300MM 公制型"187-901

MITUTOYO"英制万能斜角尺  6″,12″"187-902

MITUTOYO英制万能斜角尺  6″187-904

MITUTOYO英制万能斜角尺  12″187-906

MITUTOYO万能斜角尺150MM  公制型187-907

MITUTOYO万能斜角尺300MM  公制型187-908

MITUTOYO惠式螺距规  4-42TPI(30片)188-101

MITUTOYO标准螺距规  4-42TPI(30片)188-111

MITUTOYO螺距规  0.4-7MM(18片)188-121

MITUTOYO螺距规  0.4-7MM(21片)188-122

MITUTOYO螺距规  0.35-6MM(21片)188-130

MITUTOYO螺距规188-151

MITUTOYO表盘千分表  0.1MM1900S-10

MITUTOYO表盘千分表  0.1MM1900S-72

MITUTOYO表盘千分表  0.1MM1900SB-10

MITUTOYO指针式千分表 0.1MM（简洁单转型无误读）1900SB-72

MITUTOYO测针190654

MITUTOYO1910S-72

MITUTOYO百分表  2.5MM1911T-10

MITUTOYO百分表1911TB-10

MITUTOYO千分表  05.MM1913T-10

MITUTOYO千分表  05.MM1913TB-10

MITUTOYO测头192-005

MITUTOYO测头192-006

MITUTOYO192-007

MITUTOYO千分尺192-113

MITUTOYO带表带计数器高度尺  0-300MM192-130

MITUTOYO带表带计数器高度尺  0-450MM192-131

MITUTOYO带表带计数器高度尺  0-600MM192-132

MITUTOYO带表带计数器高度尺  0-1000MM192-133

MITUTOYO高度尺192-150

MITUTOYO高度尺192-151

MITUTOYO高度尺192-152

MITUTOYO高度尺192-153

MITUTOYO卡尺192-613

MITUTOYO数显高度尺  0-600MM192-614-10

MITUTOYO数显高度尺  0-1000MM192-615-10

MITUTOYO公英制数显高度尺  0-12^192-630-10

MITUTOYO公英制数显高度尺  0-18^192-631-10

MITUTOYO公英制数显高度尺  0-24^192-632-10

MITUTOYO公英制数显高度尺  0-40^192-633-10

MITUTOYO数显高度尺192-663-10

MITUTOYO数显高度尺192-664-10

MITUTOYO数显高度尺  0-1000MM192-665-10

MITUTOYO"公英制数显高度尺  0-12""  0-300MM"192-670-10

MITUTOYO"公英制数显高度尺  0-18""  0-450MM"192-671-10

MITUTOYO公英制数显高度尺  0-24^192-672-10

MITUTOYO公英制数显高度尺  0-40^192-673-10

MITUTOYO百分表  1MM1929S

MITUTOYO百分表  1MM1929S-62

MITUTOYO百分表  1MM1929SB

MITUTOYO百分表  1MM1929SB-62

MITUTOYO数字外径千分尺  0-25MM193-101

MITUTOYO数字外径千分尺  25-50MM193-102

MITUTOYO数字外径千分尺  50-75MM193-103

MITUTOYO数字外径千分尺  75-100MM193-104

MITUTOYO数字外径千分尺  0-25MM193-111

MITUTOYO数字外径千分尺  25-50MM193-112

MITUTOYO数字外径千分尺  50-75MM193-113

MITUTOYO数字外径千分尺  75-100MM193-114

MITUTOYO英制数字外径千分尺  0-1^(带有摩擦套管)193-211

MITUTOYO英制数字外径千分尺  1^-2^(带有摩擦套管)193-212

MITUTOYO英制数字外径千分尺  2^-3^193-213

MITUTOYO英制数字外径千分尺  3^-4^193-214

MITUTOYO数字外径千分尺套装  0-75MM(3件/套)193-901

MITUTOYO数字外径千分尺套装  0-100MM(4件/套)193-902

MITUTOYO193-916

MITUTOYO英制数字外径千分尺套装  0-3^(3件/套)193-923

MITUTOYO表盘百分表1960T

MITUTOYO1961T

MITUTOYO微分头  0-50MM197-101

MITUTOYO英制微分头  0-2^197-201

MITUTOYO测头19BAA012

MITUTOYO标准片19BAA034

MITUTOYO标准片19BAA037

MITUTOYO19BAA073

MITUTOYO配件19BAA190

MITUTOYO19BAA451

MITUTOYO19BAA452

MITUTOYO19BAA458

MITUTOYO外径测量表  0-25MM201-101

MITUTOYO外径表架201-102

MITUTOYO外径测量表  50-75MM201-103

MITUTOYO外径测量表  75-100MM201-104

MITUTOYO外径测量表  100-125MM201-105

MITUTOYO外径测量表  125-150MM201-106

MITUTOYO外径测量表  150-175MM201-107

MITUTOYO外径测量表  175-200MM201-108

MITUTOYO外径测量表  200-225MM201-109

MITUTOYO外径测量表  225-250MM201-110

MITUTOYO外径测量表  250-275MM201-111

MITUTOYO外径测量表  275-300MM201-112

MITUTOYO201-151